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金屬蝕刻技術及類型,你知道嗎?

來源:http://www.ichongzuo.cn/skjgjszx/648.html發布時間:2022-11-15

       東莞市同進電器科技有限公司是一家專注于金屬精密蝕刻企業,自成立以來一直致力于蝕刻產品加工,研發,以及后工序完善的配套工序。公司擁有20000平米生產基地,十七多年的精密蝕刻加工經驗,先后取得ISO9001,IATF16949等認證。產品廣泛應用電器、精密五金、通訊產品、汽車零件、裝飾板、醫療器械、石油化工、實驗科研、應用元件等行業等各個領域,公司工藝集蝕刻、沖壓、焊接、CNC,電鍍電泳噴油PVD等綜合工藝于一體,使客戶得到一站式服務。


蝕刻是一種利用化學強酸腐蝕、機械拋光對物體表面進行處理的技術。除了增強美感之外,它還增加了對象的附加值。從傳統的金屬加工到再到醫療設備制造,都在蝕刻技術的應用范圍之內。那么,接下來同進蝕刻跟大家聊聊:什么是金屬蝕刻?蝕刻技術的類型有哪些?


一、什么是金屬蝕刻?


金屬蝕刻是一種通過化學反應或物理沖擊去除金屬材料的技術。金屬蝕刻技術可分為濕蝕刻和干蝕刻。金屬蝕刻由一系列化學過程組成。不同的蝕刻劑對不同的金屬材料具有不同的腐蝕特性和強度。


金屬蝕刻又稱光化學蝕刻,是指在金屬蝕刻過程中經過曝光、制版、顯影,與化學溶液接觸后,去除金屬蝕刻區的保護膜,以達到溶解腐蝕、形成凸點、或挖空。最早用于制造銅板、鋅板等印刷凹凸板,廣泛用于減輕儀表板的重量,或加工銘牌等薄型工件。經過技術和工藝設備的不斷改進,蝕刻技術現已應用于航空、機械、化工、半導體制造工藝,進行電子薄件精密金屬蝕刻產品的加工。

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二、蝕刻技術的類型


1.濕蝕刻:


濕法蝕刻是將晶圓浸入合適的化學溶液中,或將化學溶液噴射到晶圓上進行淬火,通過溶液與被蝕刻物體的化學反應去除薄膜表面的原子,從而達到蝕刻的目的.進行濕法刻蝕時,溶液中的反應物首先通過停滯邊界層擴散,然后到達晶片表面,發生化學反應,產生各種產物。蝕刻化學反應的產物是液相或氣相產物,然后這些產物通過邊界層擴散并溶解到主溶液中。濕法蝕刻不僅會在垂直方向蝕刻,還會有水平蝕刻效果。

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2.干蝕刻:


干蝕刻通常是等離子蝕刻或化學蝕刻的一種。由于蝕刻效果的不同,等離子體中離子的物理原子、活性自由基的化學反應以及器件(晶圓)的表面原子,或兩者的結合,包括以下內容:


物理蝕刻:濺射蝕刻、離子束蝕刻


化學蝕刻:等離子蝕刻


物理化學復合蝕刻:反應離子蝕刻(RIE)


干蝕刻是一種各向異性蝕刻,具有良好的方向性,但選擇性比濕蝕刻差。在等離子體蝕刻中,等離子體是一種部分離解的氣體,氣體分子被離解成電子、離子和其他具有高化學活性的物質。干蝕刻最大的優點是“各向異性蝕刻”。然而,(自由基)干蝕刻的選擇性低于濕蝕刻。這是因為干蝕刻的蝕刻機理是物理相互作用;因此,離子的沖擊不僅可以去除蝕刻膜,還可以去除光刻膠掩模。


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